Structural modification of As-Se amorphous films

Abstract

he structure of AsxSe100-x amorphous films has been investigated by the radial distribution function method. Depending on the composition and preparation conditions, the short-range order of thin films is described by the model of chemically disordered network consisting of different SeSek/2As(2-k/3, AsSen/2As(3-n)/2 structural units, where k = 0, 1, 2, n = 0, 1, 2, 3 and Se=AsSe3 3 2 structural units have a double bond. A determining effect of the evaporation temperature of the initial glass upon the degree of middl-range order of films in the AsSe system has been shown. With annealing, the structural transformations with disapperance of the first sharp diffraction peak have been revealed

Методом функції радіального розподілу атомів досліджена структура аморфних тонких плівок системи As-Se. Моделі ближнього порядку атомної структури плівок описані за допомогою структурних одиниць. Для аналізу структури проміжного порядку використовували положення і інтенсивність першого гострого дифракційного піку. В результаті досліджень виявлено вплив на структуру конденсатів технологічних умов вакуумного напилення.