Металізація технічного скла з використанням електронно-променевого методу мікрообробки поверхні

Abstract

Представлені дані з електронно-променевої обробки для покращення адгезійної міцності металевих плівок. В основі лежить спрямована зміна фізико-хімічних властивостей приповерхневого шару скла шляхом обробки стрічковим електронним потоком з енергією електронів Е≤ 8 кеВ. Результати можуть бути використані в прецизійних технологіях мікрооптики та інтегральної оптики.

The data from electron beam processing are presented for improving the adhesion strength of metal films. The basis of this is the directed change in the physicochemical properties of the nearsurface layer of the glass by processing a band electron beam with an electron energy of E≤ 8 keV. The results can be used in precision micro-optics and integral optics technologies.