Формування наноструктури аморфних плівок AsxSe100-x і GexSb100-x в умовах дискретного термічного напилення.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3879

Title:	Формування наноструктури аморфних плівок AsxSe100-x і GexSb100-x в умовах дискретного термічного напилення.
Authors:	Колінько, Сергій Олександрович Іваницький, Валентин Петрович Ковтуненко, Віктор Степанович Дубровська, Галина Миколаївна
Keywords:	наноструктура;електронна мікроскопія;аморфні плівки;термічне випаровування
Issue Date:	2000
Publisher:	Український фізичний журнал.
Abstract:	Наведено результати електронно-мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок систем As-Se і Ge-Sb. Встановлено залежність ступеня мікронеоднорідності конденсатів від їх хімічного складу та технологічних умов напилення. Виявлено залежність наноструктури досліджених плівок від енергії адсорбованих частинок і складу парової фази.
URI:	https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3879
Volume:	45
Issue:	9
First Page:	1078
End Page:	1082
Appears in Collections:	Наукові публікації викладачів (ФКТМД)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
31.pdf		183.45 kB	Adobe PDF	View/Open

ChSTU repository