Please use this identifier to cite or link to this item:
https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3879| Назва: | Формування наноструктури аморфних плівок AsxSe100-x і GexSb100-x в умовах дискретного термічного напилення. |
| Автори: | Колінько, Сергій Олександрович Іваницький, Валентин Петрович Ковтуненко, Віктор Степанович Дубровська, Галина Миколаївна |
| Ключові слова: | наноструктура;електронна мікроскопія;аморфні плівки;термічне випаровування |
| Дата публікації: | 2000 |
| Видавництво: | Український фізичний журнал. |
| Короткий огляд (реферат): | Наведено результати електронно-мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок систем As-Se і Ge-Sb. Встановлено залежність ступеня мікронеоднорідності конденсатів від їх хімічного складу та технологічних умов напилення. Виявлено залежність наноструктури досліджених плівок від енергії адсорбованих частинок і складу парової фази. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3879 |
| Том: | 45 |
| Випуск: | 9 |
| Початкова сторінка: | 1078 |
| Кінцева сторінка: | 1082 |
| Розташовується у зібраннях: | Наукові публікації викладачів (ФКТМД) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
