ПОКРАЩЕННЯ ЕКСПЛУАТАЦІЙНИХ ХАРАКТЕРИСТИК ОПТИЧНИХ ЕЛЕМЕНТІВ ОПТИКО-ЕЛЕКТРОННИХ ПРИЛАДІВ

Abstract

Для запобігання негативного впливу зовнішніх термічних дій на експлуатаційні характеристики оптичних елементів оптико-електронних приладів практичне значення має їх фінішна електронно-променева обробка, що перешкоджає виникненню дефектів на поверхні елементів (тріщин, відшарувань, напливів, хвилеподібних ділянок і ін.), що призводять до різкого погіршення техніко-експлуатаційних характеристик приладів та їх відмов при експлуатації. Метою роботи є покращення експлуатаційних характеристи оптичних елементів оптико-електронних приладів шляхом їх фінішної електронно-променевої обробки. Проведено експериментальні дослідження та встановлено оптимальні діапазони зміни параметрів електронного променю (густини теплового впливу і швидкості переміщення), в межах яких спостерігається покращення експлуатаційних характеристик поверхневих шарів елементів: площа, займана негативними дефектами на поверхні зменшується у 1,8...2,7 рази і підвищується її чистота, зберігається площинність; залишкові мікрошорсткості зменшуються від 30...40 нм до 0,5...1,2 нм; максимальна товщина оплавлених шарів досягає до 250...300 мкм; мікротвердість поверхні збільшується у 1,3...1,7 рази; виникають зміцнені шари товщиною 210...230 мкм. При цьому відбувається зміна структури шарів і їх гомогенізація, кремнекиснева сітка стає близькою до кварцового скла. Це призводить до зменшення коефіцієнта світлорозсіювання поверхневих шарів елементів і збільшення коефіцієнта пропускання ІЧ-випромінювання.