Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/2514
Назва: Особливості проведення досліджень мікрогеометрії та поверхневих властивостей діелектричних матеріалів для мікро- і наноелектроніки
Інші назви: Features of microgeometry response and surface properties of dielectric materials for microand nanoelectronics
Автори: Петренко, С.Ф.
Новаковський, О.Г.
Антонюк, Віктор Степанович
Скорина, Є.В.
Бондаренко, Юлія Юріївна
Ключові слова: мікрогеометрія;діелектрик;мікроелектроніка;наноелектроніка;атомно-силова мікроскопія;microgeometry;dielectric material;microelectronics;nanoelectronics;atomic-force microscopy
Дата публікації: 2018
Видавництво: Вісник Черкаського державного технологічного університету. Серія: Технічні науки
Короткий огляд (реферат): У статті коротко розглянуті особливості проведення дослідження мікрогеометрії і поверхневих властивостей діелектричних матеріалів для мікро- і наноелектроніки із застосуванням методу АСМ. Показано переваги та обмеження застосування цього методу для дослідження поверхні і поверхневих властивостей діелектриків.
The article briefly describes the principle and operating modes of atomic-force microscope (AFM), as well as the features of microgeometry and surface properties of dielectric materials for micro and nanoelectronics using AFM method. The purpose of this article is to determine the features of microgeometry research and surface properties of dielectric materials by atomic force microscopy, as well as the advantages and limitations of the use of this method in the investigation of dielectric materials. The advantages and limitations of the application of this method for surface and surface properties of dielectrics are shown. The main directions of study of topographies, mechanical and electromagnetic properties of surfaces of dielectrics, which are carried out with the help of atomicforce microscopy method, as well as limitations and drawbacks in the use of this method in the investigation of individual properties of dielectric surfaces are also considered. The further development of this method consists in the implementation of a number of techniques and devices based on equipment for atomic-force microscopy. Perspective instrumental methods with the use of AFM show the implementation of nanodrill and nanorethene instruments, allowing the creation of micro and nanoelectric dielectrics in surfaces, forming structural formations, obtaining threads from carbon nanotubes, conducting mechanoactivation of surface layers of dielectrics by nanoparticle.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/2514
ISSN: 2306-4412
2306-4455
DOI: 10.24025/2306-4412.1.2018.153265
Випуск: 1
Початкова сторінка: 5
Кінцева сторінка: 13
Розташовується у зібраннях:№1/2018

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
3.pdfПетренко477.81 kBAdobe PDFЕскіз
Переглянути/Відкрити
зміст.pdf81.54 kBAdobe PDFЕскіз
Переглянути/Відкрити
титул.pdf87.31 kBAdobe PDFЕскіз
Переглянути/Відкрити


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищено авторським правом, усі права збережено.