Please use this identifier to cite or link to this item: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/2550
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБазіло, Костянтин Вікторович-
dc.contributor.authorБілокінь, Світлана Олександрівна-
dc.contributor.authorБондаренко, Юлія Юріївна-
dc.contributor.authorМедяник, Володимир Володимирович-
dc.date.accessioned2021-07-27T14:13:20Z-
dc.date.available2021-07-27T14:13:20Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.issn2306-4412-
dc.identifier.issn2306-4455-
dc.identifier.urihttps://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/2550-
dc.description.abstractНині провідні виробники радіоелектронних компонентів серійно випускають досить великий перелік елементів, до складу яких включені різні мікроелектромеханічні структури. Основна перевага використання у вимірювальних приладах елементів з п'єзокерамічних матеріалів обумовлюється їх особливою структурою, яка дозволяє реалізувати в одному такому елементі принципово різні схеми, наприклад, для одночасного вимірювання температури, тиску і вологості. Метою роботи є вивчення методом атомно-силової мікроскопії прихованих мікродефектів і мікронерівностей поверхонь п'єзоелектричних перетворювачів.uk_UA
dc.description.abstractCurrently leading manufacturers of electronic components serially produce a rather extensive list of elements, in which various microelectromechanical structures are included, such as various accelerometers, which are produced by millions of copies, resonators and electrical signals filters implemented on their basis, transformers and other microminiature electromechanical systems. The main advantage of using of elements, made of piezoceramic materials, in measuring devices is determined by their special structure, which allows to implement in one such element fundamentally different schemes, for example, for simultaneous measurement of temperature, pressure and humidity. The purpose of the work is to investigate hidden microdefects and microroughnesses of the surfaces of piezoelectric transducers using atomic force microscopy.uk_UA
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherВісник Черкаського державного технологічного університету. Серія: Технічні наукиuk_UA
dc.subjectмікроелектромеханічні структуриuk_UA
dc.subjectтомно-силова мікроскопіяuk_UA
dc.subjectамікронерівність поверхніuk_UA
dc.subjectмікродефектиuk_UA
dc.subjectmicroelectromechanical structuresuk_UA
dc.subjectmic force microscopyuk_UA
dc.subjectatouk_UA
dc.subjectsurface microroughnessuk_UA
dc.subjectmicrodefectsuk_UA
dc.titleДослідження мікроелектромеханічних п'єзоелектричних структур методом атомно-силової мікроскопіїuk_UA
dc.title.alternativeThe study of microelectromechanical piezoelectric structures by the method of atomic force microscopyuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dc.citation.issue3uk_UA
dc.citation.spage21uk_UA
dc.citation.epage26uk_UA
dc.identifier.doi10.24025/2306-4412.3.2018.162704-
Appears in Collections:№3/2018

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
6.pdfБазіло656.81 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
зміст.pdf133.52 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
титул.pdf143.27 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.