Дослідження мікроелектромеханічних п'єзоелектричних структур методом атомно-силової мікроскопії

Abstract

Нині провідні виробники радіоелектронних компонентів серійно випускають досить великий перелік елементів, до складу яких включені різні мікроелектромеханічні структури. Основна перевага використання у вимірювальних приладах елементів з п'єзокерамічних матеріалів обумовлюється їх особливою структурою, яка дозволяє реалізувати в одному такому елементі принципово різні схеми, наприклад, для одночасного вимірювання температури, тиску і вологості. Метою роботи є вивчення методом атомно-силової мікроскопії прихованих мікродефектів і мікронерівностей поверхонь п'єзоелектричних перетворювачів.

Currently leading manufacturers of electronic components serially produce a rather extensive list of elements, in which various microelectromechanical structures are included, such as various accelerometers, which are produced by millions of copies, resonators and electrical signals filters implemented on their basis, transformers and other microminiature electromechanical systems. The main advantage of using of elements, made of piezoceramic materials, in measuring devices is determined by their special structure, which allows to implement in one such element fundamentally different schemes, for example, for simultaneous measurement of temperature, pressure and humidity. The purpose of the work is to investigate hidden microdefects and microroughnesses of the surfaces of piezoelectric transducers using atomic force microscopy.