Мікроструктура аморфних плівок Ge-Sb

Please use this identifier to cite or link to this item: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3936

Title:	Мікроструктура аморфних плівок Ge-Sb
Authors:	Ковтуненко, Віктор Степанович Дубровська, Галина Миколаївна Колінько, Сергій Олександрович Іваницький, Валентин Петрович
Keywords:	аморфні плівки;мікроструктура;електронографія;кристалізація
Issue Date:	17-Nov-1998
Publisher:	Вакуумные технологии и оборудование: материалы 2-го научно-практического симпозиума
Abstract:	Розглянуто результати експериментальних досліджень мікроструктури та фазового стану плівок Ge-Sb. Встановлено залежність мікроструктури плівок від їх хімічного складу. Виявлено зміну фазового стану та мікроструктури конденсатів під впливом електронного опромінення.
URI:	https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3936
First Page:	214
End Page:	215
Appears in Collections:	Наукові публікації викладачів (ФКТМД)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
23.pdf		88.83 kB	Adobe PDF	View/Open

ChSTU repository