Please use this identifier to cite or link to this item:
https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3951
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Дубровська, Галина Миколаївна | - |
dc.contributor.author | Колінько, Сергій Олександрович | - |
dc.contributor.author | Ковтуненко, Віктор Степанович | - |
dc.contributor.author | Поздєєв, Сергій Валерійович | - |
dc.date.accessioned | 2022-04-14T09:46:09Z | - |
dc.date.available | 2022-04-14T09:46:09Z | - |
dc.date.issued | 2003-09-22 | - |
dc.identifier.uri | https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3951 | - |
dc.description.abstract | Наведені результати мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок As-Se та Ge-Sb. Виявлена залежність ступеня мікронеоднорідності плівок від їх хімічного складу, технологічних умов напилення та режимів електронно-променевої обробки. | uk_UA |
dc.language.iso | uk | uk_UA |
dc.publisher | Благородные и редкие металлы. БРМ-2003: материалы Четвертой Международной конференции | uk_UA |
dc.subject | дискретне термічне випаровування | uk_UA |
dc.subject | електронно-променева обробка | uk_UA |
dc.subject | еліпсометричні дослідження | uk_UA |
dc.subject | наноструктура | uk_UA |
dc.title | Отримання плівок Ge-Sb та As-Se методом вакуумного дискретного випаровування та еліпсометричні дослідження. | uk_UA |
dc.type | Publication in Conference Proceedings | uk_UA |
dc.citation.spage | 483 | uk_UA |
dc.citation.epage | 485 | uk_UA |
Appears in Collections: | Наукові публікації викладачів (ФКТМД) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.