1. Repository at ChSTU
  2. Матеріали, завантажені авторами
  3. Факультет комп'ютеризованих технологій машинобудування і дизайну
  4. Наукові публікації викладачів (ФКТМД)
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3951
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorДубровська, Галина Миколаївна-
dc.contributor.authorКолінько, Сергій Олександрович-
dc.contributor.authorКовтуненко, Віктор Степанович-
dc.contributor.authorПоздєєв, Сергій Валерійович-
dc.date.accessioned2022-04-14T09:46:09Z-
dc.date.available2022-04-14T09:46:09Z-
dc.date.issued2003-09-22-
dc.identifier.urihttps://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3951-
dc.description.abstractНаведені результати мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок As-Se та Ge-Sb. Виявлена залежність ступеня мікронеоднорідності плівок від їх хімічного складу, технологічних умов напилення та режимів електронно-променевої обробки.uk_UA
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherБлагородные и редкие металлы. БРМ-2003: материалы Четвертой Международной конференцииuk_UA
dc.subjectдискретне термічне випаровуванняuk_UA
dc.subjectелектронно-променева обробкаuk_UA
dc.subjectеліпсометричні дослідженняuk_UA
dc.subjectнаноструктураuk_UA
dc.titleОтримання плівок Ge-Sb та As-Se методом вакуумного дискретного випаровування та еліпсометричні дослідження.uk_UA
dc.typePublication in Conference Proceedingsuk_UA
dc.citation.spage483uk_UA
dc.citation.epage485uk_UA
Располагается в коллекциях:Наукові публікації викладачів (ФКТМД)

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
40.pdf107.31 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.