Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3951
Назва: | Отримання плівок Ge-Sb та As-Se методом вакуумного дискретного випаровування та еліпсометричні дослідження. |
Автори: | Дубровська, Галина Миколаївна Колінько, Сергій Олександрович Ковтуненко, Віктор Степанович Поздєєв, Сергій Валерійович |
Ключові слова: | дискретне термічне випаровування;електронно-променева обробка;еліпсометричні дослідження;наноструктура |
Дата публікації: | 22-вер-2003 |
Видавництво: | Благородные и редкие металлы. БРМ-2003: материалы Четвертой Международной конференции |
Короткий огляд (реферат): | Наведені результати мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок As-Se та Ge-Sb. Виявлена залежність ступеня мікронеоднорідності плівок від їх хімічного складу, технологічних умов напилення та режимів електронно-променевої обробки. |
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3951 |
Початкова сторінка: | 483 |
Кінцева сторінка: | 485 |
Розташовується у зібраннях: | Наукові публікації викладачів (ФКТМД) |
Файли цього матеріалу:
Файл | Опис | Розмір | Формат | |
---|---|---|---|---|
40.pdf | 107.31 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищено авторським правом, усі права збережено.