Отримання плівок Ge-Sb та As-Se методом вакуумного дискретного випаровування та еліпсометричні дослідження.

Дубровська, Галина Миколаївна; Колінько, Сергій Олександрович; Ковтуненко, Віктор Степанович; Поздєєв, Сергій Валерійович

Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3951

Назва:	Отримання плівок Ge-Sb та As-Se методом вакуумного дискретного випаровування та еліпсометричні дослідження.
Автори:	Дубровська, Галина Миколаївна Колінько, Сергій Олександрович Ковтуненко, Віктор Степанович Поздєєв, Сергій Валерійович
Ключові слова:	дискретне термічне випаровування;електронно-променева обробка;еліпсометричні дослідження;наноструктура
Дата публікації:	22-вер-2003
Видавництво:	Благородные и редкие металлы. БРМ-2003: материалы Четвертой Международной конференции
Короткий огляд (реферат):	Наведені результати мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок As-Se та Ge-Sb. Виявлена залежність ступеня мікронеоднорідності плівок від їх хімічного складу, технологічних умов напилення та режимів електронно-променевої обробки.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу):	https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3951
Початкова сторінка:	483
Кінцева сторінка:	485
Розташовується у зібраннях:	Наукові публікації викладачів (ФКТМД)

Файли цього матеріалу:

Файл	Опис	Розмір	Формат
40.pdf		107.31 kB	Adobe PDF	Переглянути/Відкрити

Показати повний опис матеріалу Перегляд статистики

Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищено авторським правом, усі права збережено.

Репозиторій ЧДТУ