Отримання плівок Ge-Sb та As-Se методом вакуумного дискретного випаровування та еліпсометричні дослідження.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3951

Title:	Отримання плівок Ge-Sb та As-Se методом вакуумного дискретного випаровування та еліпсометричні дослідження.
Authors:	Дубровська, Галина Миколаївна Колінько, Сергій Олександрович Ковтуненко, Віктор Степанович Поздєєв, Сергій Валерійович
Keywords:	дискретне термічне випаровування;електронно-променева обробка;еліпсометричні дослідження;наноструктура
Issue Date:	22-Sep-2003
Publisher:	Благородные и редкие металлы. БРМ-2003: материалы Четвертой Международной конференции
Abstract:	Наведені результати мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок As-Se та Ge-Sb. Виявлена залежність ступеня мікронеоднорідності плівок від їх хімічного складу, технологічних умов напилення та режимів електронно-променевої обробки.
URI:	https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3951
First Page:	483
End Page:	485
Appears in Collections:	Наукові публікації викладачів (ФКТМД)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
40.pdf		107.31 kB	Adobe PDF	View/Open

ChSTU repository