Підвищення якості теплоізоляційних та зносостійких покриттів на поверхнях оптичних елементів за допомогою електроннопроменевої технології

Abstract

Представлені результати досліджень функціональних характеристик нанорозмірних оксидних покриттів ZnO2, Al2O3 та TiO2 на оптичних елементах. Встановлено, що після електронно-променевої обробки оксидних покриттів на оптичних елементах строк їх експлуатації збільшується на 20‒30%. При цьому зменшується пористість поверхні на 5‒10% та підвищується на 7‒12% їх зносостійкість.