Отримання плівок Ge-Sb та As-Se методом вакуумного дискретного випаровування та еліпсометричні дослідження.

Дубровська, Галина Миколаївна; Колінько, Сергій Олександрович; Ковтуненко, Віктор Степанович; Поздєєв, Сергій Валерійович

Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3951

Повний запис метаданих

Поле DC	Значення	Мова
dc.contributor.author	Дубровська, Галина Миколаївна	-
dc.contributor.author	Колінько, Сергій Олександрович	-
dc.contributor.author	Ковтуненко, Віктор Степанович	-
dc.contributor.author	Поздєєв, Сергій Валерійович	-
dc.date.accessioned	2022-04-14T09:46:09Z	-
dc.date.available	2022-04-14T09:46:09Z	-
dc.date.issued	2003-09-22	-
dc.identifier.uri	https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3951	-
dc.description.abstract	Наведені результати мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок As-Se та Ge-Sb. Виявлена залежність ступеня мікронеоднорідності плівок від їх хімічного складу, технологічних умов напилення та режимів електронно-променевої обробки.	uk_UA
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Благородные и редкие металлы. БРМ-2003: материалы Четвертой Международной конференции	uk_UA
dc.subject	дискретне термічне випаровування	uk_UA
dc.subject	електронно-променева обробка	uk_UA
dc.subject	еліпсометричні дослідження	uk_UA
dc.subject	наноструктура	uk_UA
dc.title	Отримання плівок Ge-Sb та As-Se методом вакуумного дискретного випаровування та еліпсометричні дослідження.	uk_UA
dc.type	Publication in Conference Proceedings	uk_UA
dc.citation.spage	483	uk_UA
dc.citation.epage	485	uk_UA
Розташовується у зібраннях:	Наукові публікації викладачів (ФКТМД)

Файли цього матеріалу:

Файл	Опис	Розмір	Формат
40.pdf		107.31 kB	Adobe PDF	Переглянути/Відкрити

Показати базовий опис матеріалу Перегляд статистики

Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищено авторським правом, усі права збережено.

Репозиторій ЧДТУ