Отримання плівок Ge-Sb та As-Se методом вакуумного дискретного випаровування та еліпсометричні дослідження.

Abstract

Наведені результати мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок As-Se та Ge-Sb. Виявлена залежність ступеня мікронеоднорідності плівок від їх хімічного складу, технологічних умов напилення та режимів електронно-променевої обробки.