1. Repository at ChSTU
  2. Матеріали, завантажені авторами
  3. Факультет комп'ютеризованих технологій машинобудування і дизайну
  4. Наукові публікації викладачів (ФКТМД)
Please use this identifier to cite or link to this item: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3879
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКолінько, Сергій Олександрович-
dc.contributor.authorІваницький, Валентин Петрович-
dc.contributor.authorКовтуненко, Віктор Степанович-
dc.contributor.authorДубровська, Галина Миколаївна-
dc.date.accessioned2022-02-23T11:17:22Z-
dc.date.available2022-02-23T11:17:22Z-
dc.date.issued2000-
dc.identifier.urihttps://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3879-
dc.description.abstractНаведено результати електронно-мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок систем As-Se і Ge-Sb. Встановлено залежність ступеня мікронеоднорідності конденсатів від їх хімічного складу та технологічних умов напилення. Виявлено залежність наноструктури досліджених плівок від енергії адсорбованих частинок і складу парової фази.uk_UA
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherУкраїнський фізичний журнал.uk_UA
dc.subjectнаноструктураuk_UA
dc.subjectелектронна мікроскопіяuk_UA
dc.subjectаморфні плівкиuk_UA
dc.subjectтермічне випаровуванняuk_UA
dc.titleФормування наноструктури аморфних плівок AsxSe100-x і GexSb100-x в умовах дискретного термічного напилення.uk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dc.citation.volume45uk_UA
dc.citation.issue9uk_UA
dc.citation.spage1078uk_UA
dc.citation.epage1082uk_UA
Appears in Collections:Наукові публікації викладачів (ФКТМД)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
31.pdf183.45 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.