Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3879
Назва: | Формування наноструктури аморфних плівок AsxSe100-x і GexSb100-x в умовах дискретного термічного напилення. |
Автори: | Колінько, Сергій Олександрович Іваницький, Валентин Петрович Ковтуненко, Віктор Степанович Дубровська, Галина Миколаївна |
Ключові слова: | наноструктура;електронна мікроскопія;аморфні плівки;термічне випаровування |
Дата публікації: | 2000 |
Видавництво: | Український фізичний журнал. |
Короткий огляд (реферат): | Наведено результати електронно-мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок систем As-Se і Ge-Sb. Встановлено залежність ступеня мікронеоднорідності конденсатів від їх хімічного складу та технологічних умов напилення. Виявлено залежність наноструктури досліджених плівок від енергії адсорбованих частинок і складу парової фази. |
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3879 |
Том: | 45 |
Випуск: | 9 |
Початкова сторінка: | 1078 |
Кінцева сторінка: | 1082 |
Розташовується у зібраннях: | Наукові публікації викладачів (ФКТМД) |
Файли цього матеріалу:
Файл | Опис | Розмір | Формат | |
---|---|---|---|---|
31.pdf | 183.45 kB | Adobe PDF | ![]() Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищено авторським правом, усі права збережено.