Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3879
Назва: Формування наноструктури аморфних плівок AsxSe100-x і GexSb100-x в умовах дискретного термічного напилення.
Автори: Колінько, Сергій Олександрович
Іваницький, Валентин Петрович
Ковтуненко, Віктор Степанович
Дубровська, Галина Миколаївна
Ключові слова: наноструктура;електронна мікроскопія;аморфні плівки;термічне випаровування
Дата публікації: 2000
Видавництво: Український фізичний журнал.
Короткий огляд (реферат): Наведено результати електронно-мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок систем As-Se і Ge-Sb. Встановлено залежність ступеня мікронеоднорідності конденсатів від їх хімічного складу та технологічних умов напилення. Виявлено залежність наноструктури досліджених плівок від енергії адсорбованих частинок і складу парової фази.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3879
Том: 45
Випуск: 9
Початкова сторінка: 1078
Кінцева сторінка: 1082
Розташовується у зібраннях:Наукові публікації викладачів (ФКТМД)

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
31.pdf183.45 kBAdobe PDFЕскіз
Переглянути/Відкрити


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищено авторським правом, усі права збережено.