Please use this identifier to cite or link to this item:
https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3879
Title: | Формування наноструктури аморфних плівок AsxSe100-x і GexSb100-x в умовах дискретного термічного напилення. |
Authors: | Колінько, Сергій Олександрович Іваницький, Валентин Петрович Ковтуненко, Віктор Степанович Дубровська, Галина Миколаївна |
Keywords: | наноструктура;електронна мікроскопія;аморфні плівки;термічне випаровування |
Issue Date: | 2000 |
Publisher: | Український фізичний журнал. |
Abstract: | Наведено результати електронно-мікроскопічних досліджень наноструктури аморфних тонких плівок систем As-Se і Ge-Sb. Встановлено залежність ступеня мікронеоднорідності конденсатів від їх хімічного складу та технологічних умов напилення. Виявлено залежність наноструктури досліджених плівок від енергії адсорбованих частинок і складу парової фази. |
URI: | https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3879 |
Volume: | 45 |
Issue: | 9 |
First Page: | 1078 |
End Page: | 1082 |
Appears in Collections: | Наукові публікації викладачів (ФКТМД) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.