1. Repository at ChSTU
  2. Матеріали, завантажені авторами
  3. Факультет комп'ютеризованих технологій машинобудування і дизайну
  4. Наукові публікації викладачів (ФКТМД)
Please use this identifier to cite or link to this item: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3950
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКолінько, Сергій Олександрович-
dc.contributor.authorКовтуненко, Віктор Степанович-
dc.contributor.authorЯценко, Ірина В'ячеславівна-
dc.contributor.authorВащенко, Вячеслав Андрійович-
dc.date.accessioned2022-04-14T09:44:20Z-
dc.date.available2022-04-14T09:44:20Z-
dc.date.issued2002-
dc.identifier.urihttps://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3950-
dc.description.abstractПриведено результати експериментальних досліджень залежності наноструктури аморфних тонких плівок систем As-Se і Ge-Sb від технологічних умов напилення. Теоретично розраховано розподіл температури і термопружних напруг у підкладці при конденсації плівок. Запропоновано використовувати результати розрахунків для оптимізації технологічних процесів отримання плівок.uk_UA
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherВісник Черкаського державного технологічного університетуuk_UA
dc.subjectтепловий потікuk_UA
dc.subjectнаноструктураuk_UA
dc.subjectаморфні плівкиuk_UA
dc.subjectтермічне напиленняuk_UA
dc.titleВлияние теплового потока на формирование наноструктуры аморфных пленок в условиях дискретного термического напыления.uk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dc.citation.issue4uk_UA
dc.citation.spage74uk_UA
dc.citation.epage80uk_UA
Appears in Collections:Наукові публікації викладачів (ФКТМД)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
39.pdf227.82 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.