Влияние теплового потока на формирование наноструктуры аморфных пленок в условиях дискретного термического напыления.

Колінько, Сергій Олександрович; Ковтуненко, Віктор Степанович; Яценко, Ірина В'ячеславівна; Ващенко, Вячеслав Андрійович

Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3950

Назва:	Влияние теплового потока на формирование наноструктуры аморфных пленок в условиях дискретного термического напыления.
Автори:	Колінько, Сергій Олександрович Ковтуненко, Віктор Степанович Яценко, Ірина В'ячеславівна Ващенко, Вячеслав Андрійович
Ключові слова:	тепловий потік;наноструктура;аморфні плівки;термічне напилення
Дата публікації:	2002
Видавництво:	Вісник Черкаського державного технологічного університету
Короткий огляд (реферат):	Приведено результати експериментальних досліджень залежності наноструктури аморфних тонких плівок систем As-Se і Ge-Sb від технологічних умов напилення. Теоретично розраховано розподіл температури і термопружних напруг у підкладці при конденсації плівок. Запропоновано використовувати результати розрахунків для оптимізації технологічних процесів отримання плівок.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу):	https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3950
Випуск:	4
Початкова сторінка:	74
Кінцева сторінка:	80
Розташовується у зібраннях:	Наукові публікації викладачів (ФКТМД)

Файли цього матеріалу:

Файл	Опис	Розмір	Формат
39.pdf		227.82 kB	Adobe PDF	Переглянути/Відкрити

Показати повний опис матеріалу Перегляд статистики

Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищено авторським правом, усі права збережено.

Репозиторій ЧДТУ