Please use this identifier to cite or link to this item:
https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3950
Title: | Влияние теплового потока на формирование наноструктуры аморфных пленок в условиях дискретного термического напыления. |
Authors: | Колінько, Сергій Олександрович Ковтуненко, Віктор Степанович Яценко, Ірина В'ячеславівна Ващенко, Вячеслав Андрійович |
Keywords: | тепловий потік;наноструктура;аморфні плівки;термічне напилення |
Issue Date: | 2002 |
Publisher: | Вісник Черкаського державного технологічного університету |
Abstract: | Приведено результати експериментальних досліджень залежності наноструктури аморфних тонких плівок систем As-Se і Ge-Sb від технологічних умов напилення. Теоретично розраховано розподіл температури і термопружних напруг у підкладці при конденсації плівок. Запропоновано використовувати результати розрахунків для оптимізації технологічних процесів отримання плівок. |
URI: | https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3950 |
Issue: | 4 |
First Page: | 74 |
End Page: | 80 |
Appears in Collections: | Наукові публікації викладачів (ФКТМД) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.