ChSTU repository
ChSTU repository preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3950| Title: | Влияние теплового потока на формирование наноструктуры аморфных пленок в условиях дискретного термического напыления. |
| Authors: | Колінько, Сергій Олександрович Ковтуненко, Віктор Степанович Яценко, Ірина В'ячеславівна Ващенко, Вячеслав Андрійович |
| Keywords: | тепловий потік;наноструктура;аморфні плівки;термічне напилення |
| Issue Date: | 2002 |
| Publisher: | Вісник Черкаського державного технологічного університету |
| Abstract: | Приведено результати експериментальних досліджень залежності наноструктури аморфних тонких плівок систем As-Se і Ge-Sb від технологічних умов напилення. Теоретично розраховано розподіл температури і термопружних напруг у підкладці при конденсації плівок. Запропоновано використовувати результати розрахунків для оптимізації технологічних процесів отримання плівок. |
| URI: | https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3950 |
| Issue: | 4 |
| First Page: | 74 |
| End Page: | 80 |
| Appears in Collections: | Наукові публікації викладачів (ФКТМД) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.