Особливості электронного розсіювання в аморфних плівках Ge-Sb.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3948

Title:	Особливості электронного розсіювання в аморфних плівках Ge-Sb.
Authors:	Ковтуненко, Віктор Степанович Колінько, Сергій Олександрович Дубровська, Галина Миколаївна
Keywords:	дискретне термічне напилення;аморфна структура;кристалізація;мікроструктура
Issue Date:	5-Jun-2000
Publisher:	Тезисы докладов XVIII Российской конференции по электронной микроскопии (ЭМ’2000), Черноголовка
Abstract:	Наведено результати експериментальних досліджень зміни фазового стану та мікроструктури аморфних тонких плівок системи Ge-Sb при їх термічній обробці. Спостерігалась також локальна кристалізація плівок сурми під дією електронного променя в процесі електронномікроскопічних досліджень.
URI:	https://er.chdtu.edu.ua/handle/ChSTU/3948
First Page:	51
End Page:	51
Appears in Collections:	Наукові публікації викладачів (ФКТМД)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
30.pdf		24.5 kB	Adobe PDF	View/Open

ChSTU repository