Влияние теплового потока на формирование наноструктуры аморфных пленок в условиях дискретного термического напыления.

Abstract

Приведено результати експериментальних досліджень залежності наноструктури аморфних тонких плівок систем As-Se і Ge-Sb від технологічних умов напилення. Теоретично розраховано розподіл температури і термопружних напруг у підкладці при конденсації плівок. Запропоновано використовувати результати розрахунків для оптимізації технологічних процесів отримання плівок.